硅片智能检测分选流水线
在线式测量硅片的电阻和厚度参数,根据测试结果进行分选装盘,可以与在线式视觉检测、瑕疵识别设备对接,预留MES系统接口
可测电阻率:0.0001~19000Ω·cm
可测方块电阻:0.001~190000Ω/□